| العنوان | Reactive ion etching of tantalum in silicon tetrachloride |
|---|---|
| السنة | 2022 |
| اسم المجلة | Microelectronic Engineering |
| نوع المنشور | بحث مجلة |
| بحث عالمي؟ | 1 |
| رابط البحث في المجلة | https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167931722000740?dgcid=author |
| هل البحث ضمن مستوعب كلارفيت | 1 |
| هل البحث ضمن مستوعب سكوبس | 1 |
| الملف (في حالة البحث open access( | uploads/publications/1733899888.pdf |
| التدريسي | اسعد كريم عيدان راضي المشعل |
| البريد الالكتروني | asaad.edaan@uobasrah.edu.iq |